“HR-ICPMS测试无机杂质检测方法”项目顺利通过验收
http://www.04d.cn 2019-11-27 16:06:32 上海市计量测试技术研究院

  为了提高我国的计量检定和检测技术水平,上海市计量测试技术研究院在计量基标准器的研制和建立中也不断取得成绩。研制并建立的部分计量基准、计量标准装置已经达到了国内或国际同类装置的较好水平。

  据悉,近日,国家市场监督管理总局科技和财务司组织专家对上海计量测试技术研究院承担的总局科技计划项目“HR-ICPMS测试高纯有机试剂中无机杂质检测方法与应用研究”(项目编号:2017QK085)进行了验收。验收专家组认为项目达到了规定的考核指标,一致同意项目通过验收。

  该项目建立了HR-ICPMS测试高纯有机试剂中无机杂质的方法,参与了国家标准的编写,综合技术指标达到国内领先水平,满足对高纯有机试剂的检测要求。项目成果已应用于高纯有机试剂企业产品质量控制、杂质检测及方法验证。

  HR-ICPMS技术原理就是,ICP-MS将ICP离子源与MS检测技术完美结合的无机分析技术,Inductively Coupled Plasma(ICP)离子源是利用高温等离子体(Ar)将样品中待分析的元素离子化成为带电荷离子的装置,而Mass Spectrometer(MS)质谱是带电离子按照质荷比(质量/荷电,m/q或m/z)的大小顺序排列。

  项目成果的应用与推广将加快我国高纯试剂标准化建设的步伐,为提升高纯试剂特别是集成电路和生物医药用高纯试剂质量提供技术支撑。

  正超净高纯试剂是集成电路(IC)和超大规模集成电路(VLSI)制造过程中的关键性基础化工材料之一,主要用于芯片的清洗和腐蚀。具有品种多、用量大、技术要求高等特点。在现阶段,集成电路(IC)和超大规模集成电路(VLSI)制造过程中,仍普遍沿用湿法工艺。因此,超净高纯试剂在电路制造中更不失其重要意义。

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